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真空工艺在应用中的要求

所谓常规真空工艺系指没有特殊请求的真空工艺过程,这类真空安装(设备)对真空卫生的请求:

(1)但凡处于真空中的真空设备零件,都请求无积存的污染源,外表无尘埃,无铁屑、无锈蚀;

(2 )真空设备的真空室外表要润滑、无松软组织和气孔、无内焊缝等影响真空的缺陷;

(3 )高真空设备中,真空室内的运动部件不得用机油作光滑剂,要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作光滑剂;法兰、察看窗的密封部件要涂以高真空油脂;

(4)真空设备普通应在温度为15~30℃,相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作,冷却水进水温度不高于25 ℃。

电真空工艺对环境的请求

电真空构造资料除具有良好的机械性能和加工性能外,还要满足其他性能的请求,即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳

定性、一定的纯度和清洁度、适宜的辐射才能等。所以电真空工艺具有特殊性,对清洁处置请求是极为严厉的,应最大限度肃清

或减少零件的污染。

真空镀膜工艺对环境的请求

真空镀膜工艺衬底(基片)外表的清洁处置很重要,基片进入镀膜室前均应停止认真的镀前清洁处置,到达工件去油、去污和脱

水的目的。基片外表污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件外表在湿润空气

中生成的氧化膜;零件外表吸收和吸附的气体。这些污物根本上均可采用去油或化学清洗办法将其去掉。


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