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涡旋式真空泵的工作原理
涡旋式真空泵的原理图
涡旋式真空泵工作原理图

涡旋式泵主要包括左定子、右定子、转子、曲轴、防自转机构、进气口、排气口等部分。气体在由涡旋定子和涡旋转子组成的月

牙腔内压缩,涡旋定子固定在机架的周边上,在涡旋定子的周边上开有吸气口,在转子和定子涡旋体中心部开有排气口。涡旋转

子随着曲轴的回转以偏心量作为半径绕定子中心做公转运动。在涡旋转子还受防自传结构的约束,不能自传,始终保持着一种固

定的姿势,其中心绕涡旋定子中心作半径为R的圆周运动。

涡旋式真空泵运转的时候,两个涡旋定子和涡旋转子的涡线基本相同,只要将两者的相位错开180°,并且各自中心保持相聚R即

可组合而成。结果在两个涡旋体之间形成了一系列月牙形压缩腔。涡旋转子中心每回转90°按顺时针方向做圆周运动,吸气结束

后,涡旋体外圆周的压缩室出于关闭状态。由此可以设想压缩机结构式压缩腔一面向中心处移动,压缩腔的容积一面逐渐变小。

一个压缩腔从吸气,经压缩,最后排气的全过程。

为了减轻泵涡旋体的重量,其基材用铝,在表面上涂镀一层特殊性能的聚四氟乙烯,以增加耐磨性和耐腐蚀性。该泵涡旋体间相

邻工作腔的压差小 , 故气体泄露量小 , 泵的驱动转矩变化小,因此泵的噪昔低、振动小。

该泵特点是重量轻、体积小,为卧式结构,可以从大气压力下直接抽到 10-1Pa ,是一种使用范围很宽的粗抽用干式真空泵。



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