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真空泵选型注意事项

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强请求。如:真空镀膜请求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因此,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因此,有时选用一种泵不能满足抽气请求,需求几种泵组合起来,相互补充才干满足抽气请求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空安装得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需求预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。

5、真空设备对油污染的请求。若设备严厉请求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如请求不严厉,能够选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能到达清洁真空请求。

6、理解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需求晓得气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该思索在泵的进气口管路上装置辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。假如环境不允许有污染,能够选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价钱、运转及维修费用。
 
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